クリーンルーム用低発塵グリース

ISOFLEX

グリース由来のパーティクル発生量が少なく、クリーンルーム内の清浄度を保つ

lubricants-for-storage-battery.png

※「ISOFLEX」はNOKクリューバーの登録商標です。(商標登録1366368号)

製品説明

「ISOFLEX」 TOPAS NCA 152 は、クリーンルーム用の低発塵グリースです。低い発塵性と高い潤滑性を兼ね備え、高品質な半導体製造のニーズに応えます。また、ドイツのフラウンホーファー研究機構によるCleanroom Suitable Materials (CSM)認証も取得しています。

特長

      1. グリース由来のパーティクル発生量が少ないため、クリーンルーム内の清浄度維持に貢献します。
      2. クリーンルーム認証（Cleanroom Suitable Materials認証）を取得済みのため、安心してご利用いただけます。
      3. 高い潤滑性を保持しているため、半導体製造装置の稼働効率化に貢献します。

特性

半導体製造では、回路パターン上に数ナノメートルの粒子が付着しただけで、ショートや断線の原因となります。高品質な半導体を製造するためには、クリーンルームの清浄度を維持することが重要です。「ISOFLEX」TOPAS NCA152は、グリース由来のパーティクル発生量が少なく、潤滑性にも優れるため、クリーンルーム内の清浄度を維持できます。

評価試験

しゅう動試験

ディスクと球でのしゅう動試験を行い、パーティクルサイズごとのパーティクル発生量を測定し、いずれのクリーンルームクラスに相当するかを評価しました。クリーンルームクラスの数字が小さいほど、清浄度の高い環境となります。パーティクルサイズ0.5μm以下において、「ISOFLEX」TOPAS NCA152は他社のクリーンルーム用グリースよりも相当するクリーンルームクラスの数字が小さい結果となりました。「ISOFLEX」TOPAS NCA152は他社のクリーンルーム用グリースよりも低発塵性に優れたグリースです。



Grease-storage-batteries_fig1.jpg

活用例

  • クリーンルーム環境での機械装置の軸受、しゅう動箇所

製品ラインアップ


※「SEALUB」はNOKクリューバーの登録商標です。 （商標登録5652781号）

※「グライトパン」はNOKクリューバーの登録商標です。 （商標登録5552576、5552577号）

※「UNISILKON」はKlüber Lubrication München GmbH & Co. KGの登録商標です。（商標登録3140009号)

お問い合わせ


製品の詳細はNOKクリューバー株式会社のWebサイトをご覧ください。