真空・半導体用潤滑剤

業界トップレベルの低アウトガス性で高真空環境下の製造に

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特長

    1. アウトガスの発生を非常に抑えたグリースであるため、目標の真空度で安定した真空環境を維持することができ、アウトガスやパーティクルによる製造不良を低減することができます。
    2. 基油の蒸気圧が非常に低いグリースであるため、高真空環境下でも蒸発が少なく、ウェーハの汚染を抑えることができます。
    3. 離油度を非常に抑えたグリースであるため、基油の飛散が少なくなり、基油の飛散によるウェーハの汚染を抑えることができます。

特性

真空・半導体用潤滑剤は、完全フッ素化オイル（パーフルオロポリエーテル）を基油に使用し、低蒸気圧性、低アウトガス性、耐薬品性に優れるため、半導体製造装置など真空環境に晒される用途で使用できます。

評価試験

アウトガス発生測定試験（ASTM E 595準拠）

下記試験条件でグリースからのアウトガス発生量をTML（質量損失比）およびCVCM（再凝縮物質比）で測定しました。フッ素グリースである真空・半導体用潤滑剤「BARRIERTA」※ SUPER IS/V は、他社真空用フッ素グリースと比べて、遥かにアウトガスの発生量を抑えます。アウトガスの発生を抑えることで、ウェーハの汚染を少なくすることができます。


※「BARRIERTA」はKlüber Lubrication München GmbH & Co. KGの登録商標です。（商標登録3140008号）


【試験条件】

真空度　　　　　　：　7.0×10-3 Pa以下

加熱棒温度　　　　：　125±1 ℃

冷却板温度　　　　：　24±2 ℃

保持時　　　　　　：　24 h

初期試料重量　　　：　200~300mg


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基油の蒸気圧測定試験（クヌーセンエフュージョン法）

間接加熱型のクヌーセンセルに試料0.01gを入れ、既定の圧力、温度にし、試験時間後に試料を取り出し、試験前後の重量変化より、蒸発量を算出しました。
フッ素グリースである真空・半導体用潤滑剤「BARRIERTA」 SUPER IS/V は他社真空用フッ素グリースに比べて、基油の蒸気圧が低いです。基油の蒸気圧が低いことで、高真空環境下での基油の蒸発が少なくなります。


【試験条件】

圧力　　　　：　0.13Pa

温度　　　　：　220℃、250℃、280℃

時間　　　　：　 10min


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採用イメージ

  • 真空ポンプの軸受
  • エッチング装置のOリング
  • ウェーハ搬送ロボットの軸受
  • 薄膜形成装置のボールねじ、ガイド

製品ラインアップ


※「SEALUB」はNOKクリューバーの登録商標です。 （商標登録5652781号）

※「グライトパン」はNOKクリューバーの登録商標です。 （商標登録5552576、5552577号）

※「UNISILKON」はKlüber Lubrication München GmbH & Co. KGの登録商標です。（商標登録3140009号)

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製品の詳細はNOKクリューバー株式会社のWebサイトをご覧ください。