ロータリージョイント

堅牢なメカニカルシールの特長を活かし、高性能かつ高い信頼性を実現

製品説明

国内トップのメカニカルシールメーカーであるイーグル工業の独自技術を生かしたメカニカルシールタイプのロータリージョイントです。堅牢なメカニカルシールの特長を活かし、高性能かつ、高い信頼性のロータリージョイントを提供します。各種装置の回転軸への冷却水・温調用の流体を供給したり、半導体の製造工程でウェハーを研磨するCMPやラッピング装置等に使用されています。

特長

メカニカルシール構造を採用することで、スラリーに強く、高温・高圧・高速運転にも対応可能です。
さらに、独自技術による表面テクスチャーの採用により、低トルク化と低リーク化も実現できます。
清浄度を管理した生産工程により、クリーンで高品質な製品を提供します。

特性

ロータリージョイントは、回転する軸と固定側の間で流体（液体・気体）を安定して供給・回収するための装置です。イーグル工業のロータリージョイントは内部に高性能なメカニカルシールが組み込まれており、回転中でも流体の漏れを確実に防ぎます。回転側と固定側は、それぞれの役割に応じて精密に構成されており、シール部では摺動面同士が適切な面圧で接触することで、高い密封性を維持します。この構造により、高温・高圧・高速回転といった厳しい使用条件にも対応可能です。各流路はメカニカルシールで分離されており、流体が混ざることなく、高い信頼性で使用できます。例えば、3流路ロータリージョイントでは、回転する軸を通して3種類の流体を同時に供給・回収できる構造になっています。また、用途に応じてスラリー流体やクリーン流体にも対応できる設計となっており、耐久性と信頼性に優れた構造を実現しています。

シール構造図

両圧力対応メカニカルシール
高性能パッキンシール

活用例

半導体製造装置、半導体製造装置用バルブ、半導体製造装置用ロボット、半導体製造装置用真空チャンバー下部

お問い合わせ

製品の詳細はイーグル工業株式会社のWebサイトをご覧ください。