磁性流体シール

耐熱性と低蒸気圧特性に優れた磁性流体を採用した回転真空シール

製品説明

磁性流体シールは、磁性流体が磁石の磁力線に沿って寄っていく特性を利用し、回転軸のシール部に流体を保持して、主に大気と真空を遮断するシールです。磁性流体シールで使用する磁性流体は①磁性微粒子、②界面活性剤、③ベース液の３つの主要構成要素から成り立っています。そのすべてをNOKグループ内で開発・製造しており、独自の分散技術、界面活性剤調整技術、超低蒸気圧オイル製造技術により他社にない優れた流体を使用した磁性流体シールを提供しています。

特長

冷却機が無くても雰囲気温度220℃（フランジ温度、E-01Pa）まで対応可能です。
作動排気なしでE-09Pa以下（常温）まで対応できます。
同軸2軸や3軸など多軸にしても、各軸が独立した回転をすることができます。

特性

イーグル工業の磁性流体シールは、磁性流体（フェロフルイド）と磁力を利用して回転軸まわりを密封する、非接触型の高性能シールです。主に真空環境やクリーン性が求められる装置に用いられ、回転しながらも外部と内部を確実に隔離することができます。
このシール方式の大きな利点は、回転軸とシール部品が直接接触しないことです。一般的なゴムやメカニカルシールのような接触型シールと異なり、摩耗がほとんど発生しないため、長寿命で安定した性能を維持できます。また、回転抵抗（トルク）が非常に小さく、発塵も少ないことから、半導体製造装置などの高いクリーン性が求められる分野に適しています。

磁性流体蒸気圧線図

イーグル工業の磁性流体は、超低蒸気圧オイル製造技術によって他にはないレベルの蒸気圧低減が可能になっており、常温での運転でも約10⁻⁹ Pa以下という極めて低い圧力状態を実現することができます。こうした低蒸気圧特性は、特に半導体製造装置のように高真空環境が必須の装置で高い信頼性を発揮します。

活用例

半導体製造装置、半導体製造装置用バルブ、半導体製造装置用ロボット、半導体製造装置用真空チャンバー下部、シリコン単結晶引き上げ装置

お問い合わせ

製品の詳細はイーグル工業株式会社のWebサイトをご覧ください。