ハイブリッドシール

磁性流体シールに溶接ベローズとロータリージョイントを組合せてユニット化

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製品説明

磁性流体シール、溶接ベローズ、ロータリージョイントを1社で設計製造販売をしている世界唯一のイーグル工業が各要素を組合せてユニット化した製品です。一体化することにより取り扱い性が向上します。また、磁性流体シールと溶接ベローズを一体化することにより、回転と往復動の真空シールを実現します。さらに、ロータリージョイントを組み合わせることにより、磁性流体シールのシャフトに冷却水や温調用流体を通すことが可能です。

特長

  1. 磁性流体シールと溶接ベローズを一体化することにより、回転と往復動の真空シールを実現できます。
  2. ロータリージョイントを組み合わせることにより、磁性流体シールのシャフトに冷却水や温調用流体を通すことが可能です。
  3. 多軸の磁性流体シールに溶接ベローズとロータリージョイントを組合せることにより、コンパクトな設計が可能です。

特性

イーグル工業のハイブリッドシールは、複数の高機能シール要素を一体化した次世代の密封ユニットです。磁性流体シール・溶接ベローズ・ロータリージョイントという3つの異なるシール技術を組み合わせることで、従来のシール単体では実現しにくい性能を発揮します。
まず、磁性流体シールが回転軸における真空・ガス漏れ防止性能を提供し、溶接ベローズが軸方向の往復運動をシールすることにより、シャフトの回転と往復運動の真空・ガスのシールを両立させます。さらに、ロータリージョイントを組み合わせることで、シールを通した冷却水や温調流体の供給も可能にしています。
このように複数の機能をユニット化することで、単体部品を組み合わせた場合よりも取り扱いやすく・コンパクトな設計となり、装置全体の省スペース化や設計効率化に貢献します。加えて、ユニットまるごとのオーバーホール対応によりメンテナンス性も向上しています。


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活用例

  • 半導体製造装置、半導体製造装置用バルブ、半導体製造装置用ロボット、半導体製造装置用真空チャンバー下部

お問い合わせ

製品の詳細はイーグル工業株式会社のWebサイトをご覧ください。