一体成型バルブ弁体シール
「スペリア」ドアシール
シール材を弁体と一体成型し、取り付けやメンテナンスの手間の削減とパーティクル発生を抑制
製品説明
イーグル工業の一体成型バルブ弁体シールは、半導体製造装置などで使用されるゲートバルブやスリットバルブの弁体に、エラストマー製のシール材と金属部品を一体成型した製品です。従来のように弁体の溝へOリングを別途装着する必要がないため、Oリングの捻じれによる装着不具合がなく、取り付け・交換作業を容易にできます。さらに、使用中もシール材の固着・脱落・捻じれが起こりにくく、シール部の安定した状態を維持することで、メンテナンスサイクルの延長に貢献します。また、シール部と相手部品との摩擦箇所を少なくできるため、半導体製造装置で問題となるパーティクルの発生抑制にもつながります。
特長
- シール材を弁体にあらかじめ焼き付けて一体化しているため、従来のようにOリングを弁体の溝へ手作業で装着する必要がなく、組み付け作業の簡略化と作業時の装着ミス低減につながります。
- シール材と弁体を一体成型しているため、取り付け時にOリングが捻じれるといった装着不具合が発生せず、安定したシール状態を確保しやすくなります。
- 使用中にシール材が固着、脱落、捻じれにくい構造となっているため、シール部の状態を安定させやすく、結果としてメンテナンスサイクルの延長につながります。
- シール部における摩擦箇所を少なくできるため、摺動による摩耗やそれに伴うパーティクルの発生を抑制し、クリーンな環境が求められる半導体製造装置での使用に適しています。
- 「スペリア」F2815やFKMを使用した一体成型弁体の製作に対応し、要求される形状に合わせた設計やスケッチをもとにした検討、さらに弁体表面へのアノダイズなどの表面処理にも対応できます。
特性
一体成型バルブシールは、ゲートバルブやスリットバルブなどに使用される弁体とシール材を一体化した構造が大きな特性です。シール材には「スペリア」F2815やFKMを使用でき、金属製の弁体とエラストマー製シール材を一体成型することで、従来のようにOリングを別部品として弁体の溝へ装着する作業を不要にしています。そのため、Oリングの装着時に起こりやすい捻じれを防ぎやすく、組み付け作業の安定化や交換作業の簡略化につながります。
また、装置の稼働中もシール材の固着・脱落・捻じれが起こりにくい構造であることから、シール部の状態を安定して維持しやすく、メンテナンス頻度の低減やメンテナンスサイクルの延長に貢献します。
さらに、シール部での摩擦箇所を少なくすることでパーティクルの発生を抑制できるため、微細な異物管理が重要となる半導体製造装置への適用にも適しています。製品形状については、標準的な仕様だけでなく、要求される形状に合わせた設計検討にも対応しており、スケッチをもとにした検討や、弁体表面へのアノダイズなどの表面処理にも対応可能です。
活用例
- 半導体製造装置に使用されるゲートバルブやスリットバルブなどの弁体
※スペリアはイーグル工業の登録商標です。